The JAERI high energy, heavy ion microprobe system and single hit technique

田中 隆一; 神谷 富裕

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 79(1), p.432 - 435, 1993/07

https://doi.org/10.1016/0168-583X(93)95381-E

原研重イオンマイクロビーム装置とシングルイオン打込み技術に関する最近の進展及び原研におけるマイクロビーム利用計画について概要を述べる。3MVタンデム加速器に設置された重イオンマイクロビーム装置はシングルイベント効果及び集積回路の電荷収集を研究するために開発されている。この研究では、マイクロビームと単一イオンが狙い定めた局所的な領域に、試し打ちによってその場を乱すことなく、打込むことが要求されている。ビーム集束性能については、ビームサイズ1mの設計性能がすでに達成されており、現在はシングルイオン打込み技術の開発が進められている。より高いエネルギーの重イオンマイクロビームの応用の試みについても検討を進めている。